Les fluoropolymères Teflon™ pour gravure chimique humide

Protéger la pureté des composants pendant le traitement chimique humide des semi-conducteurs

Pour éviter la contamination des outils essentiels au traitement et les systèmes de distribution de fluides, les composants en contact avec les fluides sont fabriquées partir de résines fluoropolymères Teflon™. Pendant le procédé de traitement chimique humide, les wafers sont nettoyées, gravées et nettoyées à nouveau pour supprimer les résidus et les résines photosensibles qui se sont accumulées. La résistance chimique inégalée des fluoropolymères Teflon™ protège à la fois les fluides de traitement et les surfaces des wafers d’une exposition aux impuretés et à la contamination.

Tuyaux

L’utilisation des résines haute pureté Teflon™ perfluoroalkoxy (PFA) HP et HP Plus dans les systèmes de tuyaux des outils de gravure chimique humide prévient la contamination des fluides ultrapurs et agressifs. Les composants en Teflon™ PFA peuvent être soudés ou raccordés à l’aide de raccords de type évasé. Les constructions à double paroi fournissent une protection supplémentaire contre les fuites et la contamination.

Composants de gestion des fluides

Les vannes et les raccords fabriqués à partir de résines haute pureté Teflon™ PFA et polytétrafluoroéthylène (PTFE) garantissent la meilleure performance pour les raccords critiques des systèmes de transfert de fluides dans la gravure chimique humide. Les composantes telles que les pompes, les régulateurs de pression et les débitmètres utilisent les résines Teflon™ pour garantir leur protection contre la contamination et les impuretés.

Bains et éviers

Les composants de gravure chimique humide comme les bains et les éviers fabriqués à partir de Teflon™ PFA et PTFE aident à prévenir de la contamination les fluides de traitement et la surface des wafers. Les composants moulés à partir de Teflon™ PFA HP ont moins tendance à se briser que les composants en quartz.

Gestion des wafers

Les résines PFA HP et HP Plus confèrent aux composants moulées comme les paniers et autres composants de traitement chimique humide qui soutiennent les wafers pendant le traitement une résistance mécanique et une haute pureté pour éviter la contamination qui peut influencer le rendement.

Réservoirs et conteneurs

Le fait que les résines Teflon™ soient compatibles avec la quasi-totalité des produits chimiques améliorent leur capacité à protéger la pureté des fluides. Les Teflon™ PFA HP et PTFE peuvent être utilisées pour revêtir ou former les réservoirs et les conteneurs qui stockent et distribuent les produits chimiques ultrapurs et agressifs. Les résines Teflon™ sont également utilisées pour revêtir les réservoirs de métal et de plastique renforcé.

Capteurs

Les capteurs capacitifs protégés par les résines Teflon™ PFA haute pureté peuvent surveiller les niveaux des fluides les plus agressifs et réactifs. Les fluoropolymères Teflon™ peuvent isoler les composants électriques ainsi que le câblage et fournissent une protection supplémentaire contre la corrosion et la contamination.

Filtres

Les résines Teflon™ PTFE sont essentielles dans les membranes de filtration haute pureté qui éliminent les contaminants particulaires des fluides de traitement. Les résines Teflon™ PFA et HP Plus peuvent également être transformées et utilisées comme boîtiers de filtres et raccords.