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高純度の重要性

重要な用途での高純度の実現

半導体の製造において、ふっ素樹脂は重要な役割を担っています。ほんのわずかな不純物や自然に存在する物質であっても、デバイスの歩留まりに大きな影響を与えます。Chemours(ケマーズ)は、最高レベルの純度を維持する樹脂を製造しています。

Chemours(ケマーズ)では、ASTMSEMIなど、社内および業界の検査に準拠しているかどうかを確認するため、製品を定期的に分析しています。この分析により、表面抽出可能なイオン、金属、全有機炭素の各含有量で最小レベルを達成し、それを維持しています。SEMI F57¹やSEMI C90²に準拠する必要がある用途では、Teflon™(テフロン™)ふっ素樹脂を使用して製造され、適切な処理が施された部品が使用されています。

¹SEMI F57:超純水および液体ケミカル供給システムに使用されるポリマー材料および部品の仕様

²SEMI C90:液体ケミカル供給システムに使用されるパーフルオロアルコキシ(PFA)材料の試験方法および仕様