半導体製造におけるTeflon™（テフロン™）ふっ素樹脂

世界のつながりを強化するTeflon™（テフロン™）ふっ素樹脂

化学的に不活性なTeflon™（テフロン™）ふっ素樹脂は、バルクケミカル供給からウェットエッチングや研磨プロセスまで、半導体製造プロセスにおいて高性能で汚染のないガスやケミカルを供給するために必要な機器やシステムを実現します。

Teflon™（テフロン™）ふっ素樹脂は、信頼性の高い高品質なソリューションを提供して、デバイスメーカーがダウンタイムやプロセス変動を最小限に抑えつつ、半導体の歩留まりや設計の自由度を最大限に高めることを可能にします。

信頼性の高い高品質なふっ素樹脂が実現出来ること：

信頼性の高い製造。さらなるイノベーション。
Teflon™（テフロン™）ふっ素樹脂は、半導体製造プロセスにおける信頼性を向上させ、メーカーがより革新的で信頼性の高いデバイスを作ることができるようにします。

半導体をダメージから守る。
ふっ素樹脂の優れた耐薬品性は、半導体製造時のクリーンな環境を腐食性の高い化学物質による汚染から守ります。

集積回路のパッケージングの進化。
低誘電率、低誘電正接などの優れた電子性能や、優れたUV性能、耐湿性は、ウエハーレベルのパッケージングの進化に不可欠です。

作業効率のリアルタイムでの向上。
デバイスが共有できるデータが多くなればなるほど、IoTはよりスマートに、より効率的になります。リアルタイム情報を共有する交通機関、建物、インフラは、エネルギー消費、混雑、危険、運用コストの削減に寄与します。

IoTの進化への適応。
Chemours（ケマーズ）の製品イノベーションへの取り組みは、Teflon™（テフロン™）ふっ素樹脂が、変化する業界の需要や、より性能の高いプロセスへの要求に応えるために進化し続けることを意味します。Teflon™（テフロン™）ふっ素樹脂シリーズの多様な製品タイプ（樹脂、コーティング、ディスパージョン、フィルム）では、半導体材料の製造を可能にするワールドクラスの製品を幅広く用意しています。

半導体製造における信頼性と効率性の向上。

半導体製造に使用される超高純度の化学薬品や溶媒には、汚染物質が混入する可能性のある腐食や浸出に耐えることができるシステムや機器が必要です。Teflon™（テフロン™）ふっ素樹脂は、高純度の溶剤処理システムで、部品を腐食や不純物のない状態に保つことができます。

適用される部品の例：

• プロセス容器
• パイプや継手
• チューブ類
• バルブやポンプ
• 保管・輸送コンテナ
• フィルター
• センサー

ふっ素樹脂は、高純度の溶剤に接触する部品の耐久寿命、耐薬品性、溶接性を大きく向上させます。Teflon™（テフロン™）ポリテトラフルオロエチレン（PTFE）、パーフルオロアルコキシ（PFA）などの製品は、ほぼすべての化学物質と反応しません。実際、Teflon™（テフロン™）PFA HP樹脂の化学構造は最も低いレベルの抽出性を実現し、半導体の製造歩留まりを確保しています。

Teflon™（テフロン™）製品を使って製造した部品やツールは、反応性の高い化学物質に長時間さらされた後でも良好な性能を発揮します。集積回路の製造では、Teflon™（テフロン™）製品で作られた部品が毎回の使用で溶剤の汚染を防ぎ、プロセスの歩留まりを高く保って、性能を安定させます。

半導体製造の各工程に最適なTeflon™（テフロン™）ふっ素樹脂製品

半導体製造には多くの複雑な工程があります。各Teflon™（テフロン™）ふっ素樹脂製品は、純度、信頼性、耐久性において最高水準を維持するよう設計されています。

重要な用途における高純度

ほんのわずかな不純物や自然に存在する物質があるだけで、デバイスの歩留まりに大きな影響を与えます。ふっ素樹脂が半導体製造に果たす重要な役割をご理解ください。詳細はこちらをご覧ください。